[发明专利]一种镀膜机行星转动机构

说明书

本发明涉及镀膜设备领域，公开了一种镀膜机行星转动机构，包括转动机构和设置在所述转动机构外侧的壳体，所述壳体包括包括腔体上板、腔体下板和侧壁板以及门，所述转动机构包括电机、联轴器和钢管，所述联轴器上连接有轴，所述钢管通过法兰连接在腔体下板上，所述轴远离所述电机的一端连接有旋转轴杆，所述旋转轴杆的两侧设有第一圆锥齿轮和第二圆锥齿轮，所述圆锥齿轮上均连接有托盘，两个所述圆锥齿轮的下方设有第三圆锥齿轮，本发明提高了效率并提高了膜层加工效果，使得膜层更加均匀，使得工件在真空镀膜机内实现多种自由度的复合运动，来保证蒸镀过程中对膜层均匀性的要求,同时为后续异形光学零件的镀膜提供技术支撑。

技术领域

本发明涉及镀膜设备领域，具体涉及一种镀膜机行星转动机构。

背景技术

目前在薄膜实际制备过程中，采用的镀膜设备的转动机构为拱形工件架，其转动方式为工件以电机转动轴为中心进行公转运动，在此转动状态下，如被镀工件表面形状复杂，则无法保证膜层良好的均匀性；如能够通过精确控制膜层厚度、稳定控制蒸发速率和改进工件转动方式等方法，膜层性能还有较大的提升空间，因此对镀膜设备转动方式进行研究及改进是十分必要的。

中国专利：一种行星转动装置及能实现大批量生产的镀膜设备，授权专利号：CN101407906B，授权公告日：2011年4月27日，本发明在真空室中形成一个环形离子沉积区，使靶材获得较高的离化度和使得电弧靶和磁控靶之间等离子体分布均匀，从而提高镀膜效率和离子镀效果，降低镀膜成本，提高涂层均匀性，镀膜过程更易于控制，但是在现有实际生产中，大部分的工件做真空镀膜都需要二次镀制，对比文件中的这种转动机构不但生产效率低，而且对膜层也不好，为了能够一次完成镀膜的工序，应改为可控摆动的形式，因此提出一种镀膜机行星转动机构。

发明内容

本发明的目的在于提供一种镀膜机行星转动机构，解决了现有的镀膜设备的转动机构生产效率低和对膜层加工不能一次完成的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种镀膜机行星转动机构，包括转动机构和设置在所述转动机构外侧的壳体，所述壳体包括腔体上板、腔体下板和侧壁板以及门，所述转动机构包括电机和联轴器以及钢管，所述联轴器上连接有轴，所述钢管通过法兰连接在腔体下板上，所述轴远离所述电机的一端连接有旋转轴杆，所述旋转轴杆的两侧端面均连接有托盘，两侧的所述托盘上分别连接有第一圆锥齿轮和第二圆锥齿轮，所述第一圆锥齿轮以及所述第二圆锥齿轮与所述旋转轴杆连接处均设有旋转轴承，所述第一圆锥齿轮和所述第二圆锥齿轮的下方设有第三圆锥齿轮。

本发明的进一步改进在于：所述第一圆锥齿轮和所述第二圆锥齿轮平行设置，平行设置使得所述托盘上的加工件进行镀膜加工的时候，可以更加均匀，所述第一圆锥齿轮和所述第二圆锥齿轮相对所述第三圆锥齿轮垂直设置，垂直的角度设置是为了使得公转和自转正常进行。

本发明的进一步改进在于：所述第一圆锥齿轮和所述第二圆锥齿轮以及第三圆锥齿轮的侧面与均水平面呈45°角设置，这样的角度设置使得所述第一圆锥齿轮和所述第二圆锥齿轮分别与所述第三圆锥齿轮接触的时候，横向转动的顺利进行。

本发明的进一步改进在于：所述第一圆锥齿轮和所述第二圆锥齿轮以及第三圆锥齿轮的齿轮密度相同。

本发明的进一步改进在于：所述轴与旋转轴杆呈垂直设置，所述轴带动所述旋转轴杆横向转动。

本发明的进一步改进在于：所述托盘为圆板结构，所述圆板结构上设置有若干个连接孔槽，所述连接孔槽等距离分布在所述圆板结构上，等距离分布是为了使得后续镀膜加工的膜层更加均匀。

本发明的进一步改进在于：所述电机通过电机固定座安装在腔体下板的下方，所述电机固定座的纵截面呈工字型，设置工字型结构是镂空结构，为了便于对所述联轴器进行维护和检修。

本发明的进一步改进在于：两个所述托盘的直径相同，可以保证镀膜加工时候互补影响，最大面积的保证镀膜加工的均匀性。