[发明专利]一种含羧基的树脂酸金、负性光刻有机金浆料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202310443217.9 申请日: 2023-04-24
公开(公告)号: CN116199822B 公开(公告)日: 2023-08-15
发明(设计)人: 薛探龙;陈峤;罗君;杨志民;赵彦弘;王琰诏;史琦 申请(专利权)人: 有研工程技术研究院有限公司
主分类号: C08F220/38 分类号: C08F220/38;C08F220/06;C08F8/44;G03F7/004;G03F7/038
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 陈波
地址: 101407 北京市怀*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种含羧基的树脂酸金,如化学式(iii),其是由甲基丙烯酸和2‑甲基‑2‑丙烯酸噻喃基甲基酯的共聚物与四氯金酸铵反应制得;进一步的,按质量份数计,将35~60份含羧基的树脂酸金、10~25份的光敏单体、1~5份的光引发剂、20~40份的有机溶剂、1~4份的有机金属盐和0.01~0.1份的阻聚剂溶解混合均匀得到负性光刻有机金浆料;该有机金浆料经过印刷、流平、预烘、曝光、显影、干燥、烧结后形成精细的导电线路,可用于高分辨和小型化的集成电路和元器件中。
搜索关键词: 一种 羧基 树脂 光刻 有机 浆料 及其 制备 方法
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