[发明专利]确定样品偏振光学特性的光学测量设备、测量单元及方法在审
| 申请号： | 202310432564.1 | 申请日： | 2023-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN116930094A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 马丁·奥斯特梅耶 | 申请（专利权）人： | 安东帕光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 李楠 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种确定样品偏振光学特性的光学测量设备、测量单元及方法。光学测量设备包括：偏振状态发生器(PSG)，其配置为用于准备沿着分析光束路径传播的、具有定义的偏振状态的测量光；收容装置(AE)，其设置在偏振状态发生器的下游并且构成为用于收容至少一个第一测量单元和第二测量单元；偏振状态分析器(PSA)，其设置在收容装置下游；探测器(Det)，其设置在偏振状态分析器下游，以用于探测测量光的强度；静止的发送/接收系统，其配置为用于与第一测量单元和/或与第二测量单元通信；及分析和控制单元(μC)，以用于分析探测器和/或偏振状态分析器和/或偏振状态发生器的测量信号。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 样品 偏振 光学 特性 测量 设备 单元 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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