[发明专利]整叠硅片的图像处理方法及硅片整叠检测系统在审

专利信息
申请号: 202310394136.4 申请日: 2023-04-13
公开(公告)号: CN116385418A 公开(公告)日: 2023-07-04
发明(设计)人: 左文;何开振;孙进;苏傲;薛峰 申请(专利权)人: 苏州天准软件有限公司
主分类号: G06T7/00 分类号: G06T7/00;G06V10/22;G06V10/25;G06V10/764;G06V10/54
代理公司: 北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940 代理人: 王玉玲
地址: 213166 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种整叠硅片的图像处理方法及硅片整叠检测系统,属于硅片的图像处理领域,方法包括获取图像、检测区定位、检测区域顶点坐标计算、生成数片掩膜区域、倒角数片、Foreach循环逐片检测、瑕疵采样规则分类,最后输出瑕疵结果;本申请采用视觉瑕疵检测算法,根据工业相机采集产品图像传入相关算法检测流程中进行检测,视觉判定基于算法控制高效的对图像处理,快速获取检测结果,并根据学习结果可提高精度,不仅减少了生产过程中的人力消耗,降低了人为造成的硅片二次损伤风险,提高了检测效率。
搜索关键词: 硅片 图像 处理 方法 检测 系统
【主权项】:
暂无信息
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