[发明专利]微机电系统谐振器及其谐振频率调整方法在审
| 申请号： | 202310388988.2 | 申请日： | 2023-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN116192089A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 雷永庆;舒赟翌 | 申请（专利权）人： | 麦斯塔微电子（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02;H03H3/007 |
| 代理公司： | 深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651 | 代理人： | 王敏生 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供的微机电系统谐振器包括振动主体、锚固件、以及耦合部，耦合部被配置为多个并沿至少两个不同方向设置，且至少部分耦合部连接振动主体和锚固件，耦合部设置有用于将微机电系统谐振器的谐振频率从初始谐振频率调整为目标谐振频率的沉积层。在本申请实施例中，通过沿不同方向设置耦合部，且对位于不同方向上的耦合部进行沉积处理，从而来调整耦合部的刚度等参数以影响微机电系统谐振器的谐振频率，调整微机电系统谐振器的谐振频率位于目标频率范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 谐振器 及其 谐振 频率 调整 方法 | ||
【主权项】：
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