[发明专利]微机电系统谐振器及其谐振频率调整方法

权利要求书

1.一种微机电系统谐振器，包括振动主体、锚固件、以及耦合部，其特征在于，所述耦合部被配置为多个并沿至少两个不同方向设置，且至少部分耦合部连接所述振动主体和所述锚固件，所述耦合部设置有用于将所述微机电系统谐振器的谐振频率从初始谐振频率调整为目标谐振频率的沉积层。

2.根据权利要求1所述的微机电系统谐振器，其特征在于，沿不同方向设置的耦合部上的沉积层所用的调整材料具有不同的杨氏模量和/或密度。

3.根据权利要求1所述的微机电系统谐振器，其特征在于，沿不同方向设置的耦合部上的沉积层具有不同的沉积厚度或在相应耦合部上的沉积位置不同。

4.根据权利要求3所述的微机电系统谐振器，其特征在于，沿不同方向设置的耦合部上的沉积层所用的调整材料具有相同的杨氏模量和/或密度。

5.根据权利要求1所述的微机电系统谐振器，其特征在于，位于同一方向上的耦合部对称设置，且沿同一方向设置的耦合部上形成有相同的沉积层。

6.根据权利要求5所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述耦合部至少具有沿第一方向设置的第一耦合部、以及沿第二方向设置的第二耦合部，所述振动主体在所述第一方向具有与所述第一耦合部相关的振动模态，所述振动主体在所述第二方向具有与所述第二耦合部相关的振动模态。

7.根据权利要求6所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述第一方向和所述第二方向垂直设置。

8.根据权利要求7所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述振动主体大致呈方形，所述第一耦合部具有对称设置的第一耦合件和第二耦合件，所述第二耦合部具有对称设置的第三耦合件和第四耦合件，所述第一耦合件和所述第二耦合件位于所述振动主体的相对两侧并均连接所述振动主体和所述锚固件，所述第三耦合件和所述第四耦合件位于所述振动主体的相对两侧并均连接所述振动主体和所述锚固件，所述振动主体在振动时在所述第一耦合件和所述第二耦合件沿所述第一方向连接形成的直线上拉伸振动，所述振动主体在振动时在所述第三耦合件和所述第四耦合件沿所述第二方向连接形成的直线上拉伸振动。

9.根据权利要求7所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述振动主体具有呈环形的第一振动部和位于所述第一振动部中心区域的第二振动部，所述第一耦合部具有对称设置的第五耦合件和第六耦合件，所述第二耦合部具有对称设置的第七耦合件和第八耦合件，所述第五耦合件和所述第六耦合件位于所述第一振动部的相对两侧并均连接所述第一振动部和所述锚固件，所述第七耦合件和所述第八耦合件位于所述第二振动部的相对两侧并均连接所述第二振动部和所述第一振动部，所述第一振动部在振动时以所述第五耦合件和所述第六耦合件沿所述第一方向连接形成的直线为轴线旋转振动，所述第二振动部在振动时以所述第七耦合件和所述第八耦合件沿所述第二方向连接形成的直线为轴线旋转振动。

10.一种微机电系统谐振器的谐振频率调整方法，所述微机电系统谐振器包括振动主体、锚固件、以及耦合部，其特征在于，所述耦合部被配置为多个并沿至少两个不同方向设置，且至少存在一方向上的耦合部连接所述振动主体和所述锚固件，所述谐振频率调整方法包括：

获取所述微机电系统谐振器的初始谐振频率；

根据所述初始谐振频率确定各耦合部上的沉积位置和相应的调整材料；

对沿不同方向设置的耦合部进行沉积处理以在所述耦合部上形成沉积层，其中，所述沉积层将所述微机电系统谐振器的谐振频率从所述初始谐振频率调整为目标谐振频率。