[发明专利]一种N型外延片表面预处理方法在审
| 申请号： | 202310380898.9 | 申请日： | 2023-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN116497452A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 谢琼震;徐翀;谢艳;孙振康;杨依坤;范宗帅;陈渊凌;罗晖;谭永麟;孙晨光;王彦君 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B25/02 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种N型外延片表面预处理方法，对外延层生长完毕后的外延片表面进行预处理，包括，将外延片放置于含有氧的气体氛围中，采用醇类溶液对外延片表面进行浸润；对外延片表面进行按压、摩擦。本发明的有益效果是整个处理过程简单、快捷，预处理效果稳定，在预处理过程中没有采用对环境有污染的材料，处理时间短，为实验室或者工厂在N型硅外延片预处理环节提供了更多的选择性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 表面 预处理 方法 | ||
【主权项】：
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