[发明专利]一种N型外延片表面预处理方法在审
| 申请号： | 202310380898.9 | 申请日： | 2023-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN116497452A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 谢琼震;徐翀;谢艳;孙振康;杨依坤;范宗帅;陈渊凌;罗晖;谭永麟;孙晨光;王彦君 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B25/02 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 外延 表面 预处理 方法 | ||
1.一种N型外延片表面预处理方法，其特征在于：对外延层生长完毕后的外延片表面进行预处理，包括，
将外延片放置于含有氧的气体氛围中，采用醇类溶液对外延片表面进行浸润；
对外延片表面进行按压、摩擦。
2.根据权利要求1所述的N型外延片表面预处理方法，其特征在于：所述含有氧的气体中，氧含量为15-25％。
3.根据权利要求1所述的N型外延片表面预处理方法，其特征在于：所述含有氧的气体为空气。
4.根据权利要求1-3任一项所述的N型外延片表面预处理方法，其特征在于：所述醇类溶液为无水乙醇、甲醇或异丙醇。
5.根据权利要求4所述的N型外延片表面预处理方法，其特征在于：采用醇类溶液对外延片浸润时，醇类溶液覆盖外延片表面，浸润时间为1-5min。
6.根据权利要求1-3和5任一项所述的N型外延片表面预处理方法，其特征在于：对外延片表面进行按压、摩擦时，将外延片放置于加热平台上。
7.根据权利要求6所述的N型外延片表面预处理方法，其特征在于：所述加热平台的温度为25-35℃。
8.根据权利要求7所述的N型外延片表面预处理方法，其特征在于：按压、摩擦的时间为1-10min。
9.根据权利要求7或8所述的N型外延片表面预处理方法，其特征在于：采用软质材料对外延片进行按压、摩擦，摩擦方向与外延片的晶向垂直或平行。
10.根据权利要求9所述的N型外延片表面预处理方法，其特征在于：所述软质材料为无尘布。
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