[发明专利]一种基于多级级联结构的中红外波导集成探测器

摘要

本发明属于半导体技术领域，本发明公开了一种基于多级级联结构的中红外波导集成探测器。本发明所述中红外波导集成探测器由下至上依次包括衬底、下包层、下波导层、上包层、上波导层和顶部接触层；其中上波导层包括若干周期级联结构的吸收层；所述每个周期级联结构的吸收层由下至上依次包括弛豫区、吸收区和隧穿区。本发明采用多级级联结构的吸收层，可以有效减小吸收长度，提高探测器的灵敏度和响应速度。