[发明专利]一种用于多site并行测试的测试机台防呆方法及装置在审

专利信息
申请号: 202310333536.4 申请日: 2023-03-31
公开(公告)号: CN116593849A 公开(公告)日: 2023-08-15
发明(设计)人: 曹敬芳 申请(专利权)人: 普冉半导体(上海)股份有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 代理人: 童素珠
地址: 201210 上海市浦东新区中国(上海)自*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及半导体晶圆测试领域,提供了一种用于多site并行测试的测试机台防呆方法,包括:当测试机台的cable线与测试板的site连接后,通过测试机台测试每个所述site的电压值;判断每个所述site的电压值是否符合预期电压值;若所述site的电压值不符合预期电压值时,发出基于所述site的编号以及与所述site连接的cable线的编号进行现场检查的提示,以使所述site的电压值符合预期电压值;当所述site的电压值符合预期电压值后,所述测试机台通过防呆测试。
搜索关键词: 一种 用于 site 并行 测试 机台 方法 装置
【主权项】:
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