[发明专利]一种用于多site并行测试的测试机台防呆方法及装置

说明书

本发明涉及半导体晶圆测试领域，提供了一种用于多site并行测试的测试机台防呆方法，包括：当测试机台的cable线与测试板的site连接后，通过测试机台测试每个所述site的电压值；判断每个所述site的电压值是否符合预期电压值；若所述site的电压值不符合预期电压值时，发出基于所述site的编号以及与所述site连接的cable线的编号进行现场检查的提示，以使所述site的电压值符合预期电压值；当所述site的电压值符合预期电压值后，所述测试机台通过防呆测试。

技术领域

本发明涉及半导体晶圆测试领域，尤指一种用于多site并行测试的测试机台防呆方法及装置。

背景技术

在实际测试中多site同时测试时，site对接的cable线数量较多，产线技术员可能会将cable线连接到错误的测试板，导致测试板输出的测试数据与实物测试错误，最后导致测试异常的料流到客户端。针对多site测试模式的防呆一般是只通过人为核对cable线标号与对应site编号是否对应，由于多site同时测试时，site对接的cable线数量较多，人工核对cable线确实是一种效率低下且正确率不高的方法。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于多site并行测试的测试机台防呆方法及装置，通过本方案可以解决上述问题。

本发明提供的技术方案如下：

在一些实施方式中，本发明提供一种用于多site并行测试的测试机台防呆方法，包括：

当测试机台的cable线与测试板的site连接后，通过测试机台测试每个所述site的电压值；

判断每个所述site的电压值是否符合预期电压值；

若所述site的电压值不符合预期电压值时，发出基于所述site的编号以及与所述site连接的cable线的编号进行现场检查的提示，以使所述site的电压值符合预期电压值；

当所述site的电压值符合预期电压值后，所述测试机台通过防呆测试。

在一些实施方式中，所述当测试机台的cable线与测试板的site连接后，通过测试机台测试每个所述site的电压值，包括：

将所述测试板外接对应的电阻；

通过并联测试方式，获取所述测试板中每个site对应的电压值。

在一些实施方式中，所述判断每个所述site的电压值是否符合预期电压值，包括：

当获取每个所述site的电压值后，将每个所述site的电压值分别与所述预期电压值进行比较。

在一些实施方式中，在所述当测试机台的cable线与测试板的site连接后，通过测试机台测试每个所述site的电压值之前，还包括：

所述测试机台包括多个测试端口，每个测试端口通过cable线连接所述测试板的每个site；

当所述测试机台进行FT测试时，写入防呆测试程序，以控制所述测试机台进入防呆测试。

在一些实施方式中，当通过所述防呆测试后，控制所述测试机台继续进行所述FT测试。

在一些实施方式中，本发明提供一种用于多site并行测试的测试机台防呆装置，包括：

测试模块，用于当测试机台的cable线与测试板的site连接后，通过测试机台测试每个所述site的电压值；

判断模块，用于判断每个所述site的电压值是否符合预期电压值；