[发明专利]晶舟组件和半导体工艺设备

摘要

本发明提供一种晶舟组件，包括多个晶舟，至少一个晶舟的出舟侧底部具有前导电舟脚，至少一个晶舟的入舟侧底部具有后导电舟脚，前导电舟脚的顶部具有接触凸起，后导电舟脚的底部具有接触凹槽，相邻两个晶舟中位于出舟侧的晶舟进入工艺腔室中时，其后导电舟脚的接触凹槽能够与位于入舟侧的晶舟的前导电舟脚的接触凸起接触，以将相邻两个晶舟电连接。本发明通过后导电舟脚与前导电舟脚搭接的方式将相邻晶舟电连接，无需在工艺腔室的开口处设置电极，保证了半导体工艺效果，且前导电舟脚及后导电舟脚可随晶舟取出并单独进行清洁维护，在对晶舟进行维护时无需停机，提高了半导体工艺设备的维护效率，保证了机台产能。本发明还提供一种半导体工艺设备。