[发明专利]一种有效减小接触电阻的垂直探针组件有效
| 申请号： | 202310264587.6 | 申请日： | 2023-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN116298435B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 何静安;章恒 | 申请（专利权）人： | 圆周率半导体（南通）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/067 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 杨民 |
| 地址： | 226000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种有效减小接触电阻的垂直探针组件，包括基板，以及设置在基板下方并排分布的探针本体；基板下端通过焊接的连接组件与多个探针本体相互连接，连接组件为多个连接元件并排分布并通过绝缘层隔开形成的格栅结构；探针本体包括探针头部以及探针中部，所述连接元件的下端开设有方便探针头部插入的插接槽，且探针头部和插接槽采用间隙配合。本发明结构紧凑、合理，操作方便，通过在基板和探针本体之间加入呈格栅分布的连接组件，提高了基板和探针本体之间的连接效果，而且减少了与空气的接触面，减少了污染层的产生，同时由于探针本体与连接组件采用摩擦接触，还能去除表面的污染层，提高了接触效果，提高了对被测晶元的测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有效 减小 接触 电阻 垂直 探针 组件 | ||
【主权项】：
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