[发明专利]一种有效减小接触电阻的垂直探针组件

权利要求书

1.一种有效减小接触电阻的垂直探针组件，其特征在于：包括基板（1），以及设置在基板（1）下方并排分布的探针本体（3）；

所述基板（1）下端通过焊接的连接组件（2）与多个探针本体（3）相互连接，连接组件（2）为多个并排分布的连接元件（201），多个连接元件（201）通过绝缘层（202）隔开以形成格栅结构；

所述探针本体（3）包括探针头部（301）以及连接在探针头部（301）下端用于触碰探测被测晶元（4）的探针中部（302），所述连接元件（201）的下端开设有方便探针头部（301）插入的插接槽（203），且探针头部（301）和插接槽（203）采用间隙配合，通过摩擦减少接触面的污染层；

沿着所述插接槽（203）的内壁以及连接元件（201）的下端面开设有多个呈“L”形分布的排气槽（205），排出探针头部（301）和插接槽（203）接触产生的空气和杂质。

2.如权利要求1所述的一种有效减小接触电阻的垂直探针组件，其特征在于：所述基板（1）上方焊接有PCB板（6）。

3.如权利要求2所述的一种有效减小接触电阻的垂直探针组件，其特征在于：所述连接元件（201）的上端通过连接元件焊盘（206）与基板（1）上设置的基板焊盘（101）相互焊接，所述连接元件焊盘（206）的外表面由电镀金制作，且厚度在0.1um以上，内部由铜锡合金组成，而基板焊盘（101）的外表面采用化学镀金制作，且厚度大于0.03um。

4.如权利要求3所述的一种有效减小接触电阻的垂直探针组件，其特征在于：所述连接组件（2）的上端采用下凹结构来连接连接元件焊盘（206）。

5.如权利要求1-4任一项所述的一种有效减小接触电阻的垂直探针组件，其特征在于：所述探针本体（3）位于探针中部（302）的下端还连接有宽度较小的探针尾部（303），同时多个探针尾部（303）上均滑动插接在同一个限位板（7）上设置的滑孔中，滑孔的宽度介于探针中部（302）和探针尾部（303）之间。

6.如权利要求5所述的一种有效减小接触电阻的垂直探针组件，其特征在于：所述限位板（7）和PCB板（6）之间通过多个可拆卸的连杆（8）进行连接，且PCB板（6）底部到探针中部（302）底部的各部件的垂直高度与连杆（8）的高度差≤探针头部（301）的垂直高度，确保探针头部（301）能限制在插接槽（203）内滑动。

7.如权利要求5所述的一种有效减小接触电阻的垂直探针组件，其特征在于：所述插接槽（203）为柱形槽，探针头部（301）与插接槽（203）的结构相吻合，提高插接槽（203）和探针头部（301）的侧边摩擦的行程以减少侧边接触的污染层。

8.如权利要求7所述的一种有效减小接触电阻的垂直探针组件，其特征在于：所述插接槽（203）内还设置有向下凸出的插接头（204），且探针头部（301）上设置有与插接头（204）相对应的凹槽，提高探针头部（301）端面与插接头（204）的摩擦行程以减少端部接触的污染层。

9.如权利要求8所述的一种有效减小接触电阻的垂直探针组件，其特征在于：所述插接头（204）为锥形结构，或者接触面为斜面的其他结构。

10.如权利要求9所述的一种有效减小接触电阻的垂直探针组件，其特征在于：所述锥形结构包括圆锥或棱锥。

11.如权利要求1所述的一种有效减小接触电阻的垂直探针组件，其特征在于：所述插接槽（203）为锥形槽，且探针头部（301）与插接槽（203）的结构相吻合。