[发明专利]一种光学测量仪的精度评估方法在审
| 申请号: | 202310261777.2 | 申请日: | 2023-03-16 |
| 公开(公告)号: | CN116295050A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
| 发明(设计)人: | 刘湘龙;孟若林;胡梦海;黄贵福 | 申请(专利权)人: | 广州兴森快捷电路科技有限公司;深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
| 代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 洪铭福 |
| 地址: | 510663 广东省广州市广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本申请公开了一种光学测量仪的精度评估方法,涉及测量设备技术领域,包括:获取线路板上进行厚度测量的第一区域;当第一区域的材质为基板,对预先制作好的若干个第一标准件分别采用光学测量仪进行厚度测量,得到每个第一标准件的第一测量值;将每个第一测量值分别与相对应的第一标准件的第一标准值进行对比,并输出第一评估结果当第一区域的材质为铜箔,在预先制作好的第二标准件中每个凹槽位置处分别采用光学测量仪进行厚度测量,得到第二标准件中每个凹槽位置处的第二测量值;将每个第二测量值分别与第二标准件中相对应的每个凹槽位置处的第二标准值进行对比,并输出第二评估结果。本申请能够评估光学测量仪测量结果的可靠性。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 光学 测量仪 精度 评估 方法 | ||
【主权项】:
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