[发明专利]一种光学测量仪的精度评估方法

权利要求书

1.一种光学测量仪的精度评估方法，其特征在于，包括：

获取线路板上进行厚度测量的第一区域；其中，所述线路板包括基板和铜箔；

当所述第一区域的材质为基板，对预先制作好的若干个第一标准件分别采用光学测量仪进行厚度测量，得到每个所述第一标准件的第一测量值；其中，每个第一标准件的厚度均不相同；

将每个所述第一测量值分别与相对应的所述第一标准件的第一标准值进行对比，并输出第一评估结果；其中，所述第一标准值为所述第一标准件的真实厚度值；

当所述第一区域的材质为铜箔，在预先制作好的第二标准件中每个凹槽位置处分别采用光学测量仪进行厚度测量，得到所述第二标准件中每个凹槽位置处的第二测量值；其中，每个所述凹槽的深度均不相同；

将每个所述第二测量值分别与所述第二标准件中相对应的每个凹槽位置处的第二标准值进行对比，并输出第二评估结果；其中，所述第二标准值为所述第二标准件在凹槽位置处的真实厚度值。

2.根据权利要求1所述的光学测量仪的精度评估方法，其特征在于，所述第一标准件根据以下步骤制作得到：

在第一板件的两侧表面分别贴上第二板件；其中，所述第一板件和所述第二板件的尺寸相等，所述第一板件上间隔划分有若干个叠放区域；

在其中一个所述第二板件对应于所述叠放区域的位置放置有不同厚度的板件组，形成多层板；其中，所述板件组至少包括一块第三板件；

将所述多层板进行压合；

在压合后的所述多层板对应于所述叠放区域的位置进行裁剪，得到若干个不同厚度的第一标准件。

3.根据权利要求2所述的光学测量仪的精度评估方法，其特征在于，所述第一板材为玻纤环氧板，所述第二板材和所述第三板材均为半固化片。

4.根据权利要求3所述的光学测量仪的精度评估方法，其特征在于，所述第一标准值根据以下步骤得到：

采用经过校验的测量工具对每个所述第一标准件进行测量，得到对应于每个所述第一标准件的所述第一标准值。

5.根据权利要求4所述的光学测量仪的精度评估方法，其特征在于，所述采用经过校验的测量工具对每个所述第一标准件进行测量，得到对应于每个所述第一标准件的所述第一标准值，包括：

采用经过校验的测量工具对每个所述第一标准件的中心位置进行测量，得到对应于每个所述第一标准件的所述第一标准值。

6.根据权利要求2所述的光学测量仪的精度评估方法，其特征在于，所述将所述多层板进行压合，包括：

在所述多层板的两侧表面贴有铜箔；其中所述铜箔的尺寸大于或等于所述第二板件的尺寸；

将所述多层板和所述铜箔进行压合；

压合完成后，将所述多层板两侧表面的铜箔撕除。

7.根据权利要求1所述的光学测量仪的精度评估方法，其特征在于，所述将每个所述第一测量值分别与相对应的所述第一标准件的第一标准值进行对比，并输出第一评估结果，包括：

当所述第一测量值与相对应的所述第一标准件的第一标准值之间的差值小于预设的第一阈值，输出测量结果可靠的第一评估结果；

当所述第一测量值与相对应的所述第一标准件的第一标准值之间的差值大于或等于预设的第一阈值，输出测量结果不可靠的第一评估结果。

8.根据权利要求1所述的光学测量仪的精度评估方法，其特征在于，所述第二标准件根据以下步骤制作得到：

在覆铜板上等间隔划分若干个减铜区域；

以相同的减铜深度，依次在所述覆铜板上的所述减铜区域处进行减铜，且每个所述减铜区域的减铜次数随着所述减铜区域的排列顺序依次递增，使得所述覆铜板上形成若干个深度均不相同的凹槽，形成所述第二标准件；其中，所述覆铜板的铜厚大于最后一个所述减铜区域中所述凹槽的深度。

9.根据权利要求8所述的光学测量仪的精度评估方法，其特征在于，所述第二标准值根据以下步骤得到：

根据所述覆铜板的铜厚和每个所述凹槽的深度，计算得到所述第二标准件中每个凹槽位置处的所述第二标准值。

10.根据权利要求1所述的光学测量仪的精度评估方法，其特征在于，将每个所述第二测量值分别与所述第二标准件中相对应的每个凹槽位置处的第二标准值进行对比，并输出第二评估结果，包括：

当所述第二测量值与所述第二标准件中相对应的凹槽位置处的第二标准值的差值小于预设的第二阈值，输出测量结果可靠的第二评估结果；

当所述第二测量值与所述第二标准件中相对应的凹槽位置处的第二标准值的差值大于或等于预设的第二阈值，输出测量结果不可靠的第二评估结果。