[发明专利]压电驱动-感知集成的六维柔性并联细胞微力传感器

摘要

本发明公开了一种压电驱动‑感知集成的六维柔性并联细胞微力传感器，包括自上往下依次设置的探针、上盖板、柔性并联弹性体、电路板和下盖板，探针与柔性并联弹性体相连，电路板、柔性并联弹性体和上盖板均与下盖板固定连接；柔性并联弹性体自上而下依次包含第一平台、柔性梁和第二平台，柔性梁两侧分别设有PVDF薄膜和MFC薄膜；电路板内部集成有主控电路、用于将PVDF薄膜感知到的电荷信号转换为电压信号的感知层电路、用于将主控电路产生的弱电压信号进行放大来驱动MFC薄膜的驱动层电路和收发电路。本发明采用MFC薄膜作为驱动层、PVDF薄膜作为感知层，采用反馈控制抑制外环境中时变不确定干扰，提高了测量的鲁棒性及稳定性，结构简单可靠、集成度高。