[发明专利]一种机械式微孔内孔抛光装置及其微孔抛光方法在审
| 申请号： | 202310202100.1 | 申请日： | 2023-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN116237860A | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 陈荣华;扈秀春 | 申请（专利权）人： | 深圳市摆渡微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/04;B24B47/04;B24B1/00;B24B41/06 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 刘洋;刘国童 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种机械式微孔内孔抛光装置及其微孔抛光方法，解决现有的微孔抛光存在孔口处形状抛变形形成喇叭口和孔中部抛不到的问题。包括有底座，设于底座上的抛光丝线，抛光驱动机构，夹具，以及中空电机，夹具包括有用于夹持工件的中空的弹性夹套，与电机的主轴固定连接的用于夹持弹性夹套的中空夹头，位于弹性夹套内的隔套和导套，抛光微孔时，工件的两侧各设置一个隔套，隔套的两侧各设置一个导套，导套内的抛光限位孔的孔径为工件抛光孔径的1.0‑1.2倍，从而能够将工件两侧的丝线拉直，使丝线的变形限定的一定的范围内，使抛光丝线在抛光时能够接近水平状态，从而能够使工件抛光孔的每个部位都能抛光到，同时变形控制在一定空间内，不会出现喇叭口。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械式 微孔 抛光 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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