[发明专利]一种机械式微孔内孔抛光装置及其微孔抛光方法在审

专利信息
申请号: 202310202100.1 申请日: 2023-03-06
公开(公告)号: CN116237860A 公开(公告)日: 2023-06-09
发明(设计)人: 陈荣华;扈秀春 申请(专利权)人: 深圳市摆渡微电子有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B41/04;B24B47/04;B24B1/00;B24B41/06
代理公司: 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 代理人: 刘洋;刘国童
地址: 518000 广东省深圳市南山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 机械式 微孔 抛光 装置 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种机械式微孔内孔抛光装置,包括有底座,设于底座上的用于穿过工件抛光孔的抛光丝线,用于将丝线的两端拉紧水平来回移动进行抛光的抛光驱动机构,用于夹持工件的夹具,以及用于驱动夹具进行转动的中空电机,其特征在于:所述的夹具包括有用于夹持工件的中空的弹性夹套,与电机的主轴固定连接的用于夹持弹性夹套的中空夹头,位于弹性夹套内的隔套和导套,工件的两侧分别设置一个隔套,隔套的两侧分别设置一个导套,所述的导套内对应工件抛光孔设有抛光限位孔,抛光限位孔的孔径为工件抛光孔径的1.0-1.2倍,所述的隔套内设有隔套孔,所述的隔套孔的孔径要大于抛光限位孔,所述的抛光限位孔与隔套孔同心设置。

2.如权利要求1所述的一种机械式微孔内孔抛光装置,其特征在于:所述的弹性夹套为圆形一侧开孔的弹性夹套。

3.如权利要求1所述的一种机械式微孔内孔抛光装置,其特征在于:所述的隔套孔的孔径是工件抛光孔孔径的3倍。

4.如权利要求1所述的一种机械式微孔内孔抛光装置,其特征在于:所述的导套的材质为聚晶金刚石。

5.如权利要求1所述的一种机械式微孔内孔抛光装置,其特征在于:所述的隔套的材质为尼龙。

6.如权利要求1所述的一种机械式微孔内孔抛光装置,其特征在于:所述的中空电机为中空变频电机。

7.如权利要求1所述的一种机械式微孔内孔抛光装置,其特征在于:所述的中空夹头为多爪夹头。

8.应用1-7任一所述的机械式微孔内孔抛光装置的微孔抛光方法,其特征在于:所述的微孔抛光方法包括有如下步骤:

步骤A:将抛光丝线穿过工件抛光孔,然后将两个隔套的隔套孔分别穿过抛光丝线,使两个隔套分别位于工件的两侧,然后再将两个导套的抛光限位孔分别穿过抛光丝线,使两个导套分别位于隔套的两侧,然后将组装的工件、隔套和导套一起装到弹性夹套内;

步骤B:将弹性夹套夹持在中空夹头内;

步骤C:再将丝线的两端与抛光驱动机构安装,使丝线拉紧;

步骤D:启动抛光驱动机构,抛光驱动机构驱动抛光丝线水平来回移动,再启动中空电机带动工件旋转对工件抛光孔进行抛光。

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