[发明专利]芯片与基板键合方法及具有其的显示面板、电子设备在审

专利信息
申请号: 202310094097.6 申请日: 2023-02-06
公开(公告)号: CN116072772A 公开(公告)日: 2023-05-05
发明(设计)人: 赵云飞 申请(专利权)人: 上海闻泰电子科技有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/62
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 代理人: 郭栋梁
地址: 200001 上海市黄浦区北*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 本申请涉及半导体技术领域,提供了一种芯片与基板键合方法及具有其的显示面板、电子设备。该芯片与基板键合方法包括提供芯片和基板,芯片上设置有金属电极,金属电极的表面为凹凸结构,基板上设置有金属焊盘,金属焊盘的表面以及相邻间隙中涂布底部填充胶,且底部填充胶的高度大于金属焊盘的高度;将芯片和基板进行对位,并根据第一热压条件将芯片和基板进行预键合,第一热压条件用于软化底部填充胶,并可使金属电极穿透底部填充胶与金属焊盘相接触;根据第二热压条件将芯片和基板进行键合,第二热压条件用于熔融金属电极并与金属焊盘之间发生扩散,形成共晶键合。采用本申请的键合方法,能确保芯片与基板的稳定键合,可靠性强,延长了使用寿命。
搜索关键词: 芯片 基板键合 方法 具有 显示 面板 电子设备
【主权项】:
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