[发明专利]有源过滤器、半导体气体传感器及有源过滤器的制备方法在审

专利信息
申请号: 202310074090.8 申请日: 2023-01-17
公开(公告)号: CN115950922A 公开(公告)日: 2023-04-11
发明(设计)人: 刘家慧;商文霞;段卓岐;龚涵运;孟广彪 申请(专利权)人: 湖南元芯传感科技有限责任公司
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12
代理公司: 北京金咨知识产权代理有限公司 11612 代理人: 王晓雅
地址: 411102 湖南省湘潭市岳塘*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 本申请提供一种有源过滤器、半导体气体传感器及有源过滤器的制备方法,有源过滤器用于过滤除半导体气体传感器待检测的目标气体之外的干扰气体,包括封装壳体和过滤组件;过滤组件包括相接的气体催化过滤层和用于将气体催化过滤层内的催化物的温度加热至催化温度范围内的加热件;气体催化过滤层设置在封装壳体内,包括设有用于在预设的催化温度范围内将干扰气体进行催化分解的催化物的多孔衬底。本申请能够有效降低用于过滤干扰气体的器件设置成本及制造工艺难度,能够提高过滤干扰气体的应用可靠性及使用寿命;并能够提高过滤干扰气体的应用范围,进而能够提高半导体气体传感器检测有毒有害气体的应用可靠性及适用广泛性。
搜索关键词: 有源 过滤器 半导体 气体 传感器 制备 方法
【主权项】:
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