[发明专利]TiAlCrVSiN/TiAlCrVSiON纳米多层复合刀具涂层及制备方法在审
| 申请号： | 202310059745.4 | 申请日： | 2023-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN116815115A | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 肖白军;朱国;董婷;陈敢新;倪莎;郭高峰 | 申请（专利权）人： | 湖南城市学院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 长沙惟盛赟鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 43228 | 代理人： | 马凤兰 |
| 地址： | 413000 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了TiAlCrVSiN/TiAlCrVSiON纳米多层复合刀具涂层及制备方法。该涂层采用涂层自生成技术和高功率磁控溅射技术方法制备，所述涂层包括：TiAlCrN过渡层、交替沉积的耐高温、富氧的TiAlCrVSiON单层和高硬度、富氮TiAlCrVSiN单层。本发明通过自生成涂层技术，同时结合高功率脉冲磁控溅射沉积技术，可以获得兼具高硬度、强韧性、热稳定性好和高温耐摩性能优异的纳米多层复合刀具涂层；同时通过调节调制周期，可以降低涂层内部的残余应力，改善涂层致密性；进一步提高涂层的综合力学性能，并且本工艺制备过程简单，无需额外成本。 | ||
| 搜索关键词： | tialcrvsin tialcrvsion 纳米 多层 复合 刀具 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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