[发明专利]单片式流体传感器系统及其制造方法在审
| 申请号： | 202310053458.2 | 申请日： | 2023-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN116577297A | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | C·科瓦奇;E·阿绍尔;U·巴尔特;T·格里勒;T·奥斯特曼;G·斯托克 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;G01N21/3577;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 李兴斌 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及单片式流体传感器系统及其制造方法。单片式流体传感器系统包括：传感器构件，具有在传感器基板的第一主表面区域上的热辐射发射器、滤光器结构、波导结构和热辐射检测器；覆盖基板，凹部布置在接合到与传感器基板的第一主表面区域的覆盖基板的第一主表面区域中，贯穿式开口布置在凹部与其第二主表面区域之间，传感器构件布置在凹部下方；参考传感器构件，具有在其第一主表面区域上的参考热辐射发射器、参考滤光器结构、参考波导结构和参考热辐射检测器；和参考覆盖基板，参考凹部布置在接合到参考传感器基板的第一主表面区域的参考覆盖基板的第一主表面区域中，参考凹部形成用于参考传感器构件的密封腔。 | ||
| 搜索关键词： | 单片 流体 传感器 系统 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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