[发明专利]单片式流体传感器系统及其制造方法

权利要求书

1.一种单片式流体传感器系统(100)，包括：

传感器构件(110)，具有在传感器基板(115)的第一主表面区域上的热辐射发射器(111)、滤光器结构(112)、波导结构(113)和热辐射检测器(114)，

覆盖基板(120)，其中凹部(122)布置在所述覆盖基板(120)的第一主表面区域中，并且贯穿式开口(126)布置在第一主表面区域中的所述凹部(122)与所述覆盖基板(120)的第二主表面区域之间，其中所述覆盖基板(120)的第一主表面区域接合到传感器基板(115、105)的第一主表面区域，并且其中所述传感器构件(110)布置在所述覆盖基板(120)的所述凹部(122)下方，

参考传感器构件(130)，具有在参考传感器基板(135)的第一主表面区域上的参考热辐射发射器(131)、参考滤光器结构(132)、参考波导结构(133)和参考热辐射检测器(134)，以及

参考覆盖基板(140)，其中参考凹部(142)布置在所述参考覆盖基板(140)的第一主表面区域中，其中所述参考覆盖基板(140)的第一主表面区域接合到所述参考传感器基板(135)的第一主表面区域，并且其中所述参考覆盖基板(140)的第一主表面区域中的所述参考凹部(142)形成用于所述参考传感器构件(130)的密封腔(144)。

2.根据权利要求1所述的单片式流体传感器系统(100)，其中所述传感器构件(110)的元件和所述参考传感器构件(130)的参考元件具有相同的结构设置。

3.根据权利要求1或2所述的单片式流体传感器系统(100)，还包括：

底部基板(150、155)，其中所述底部基板(150、155)的第一主表面区域接合到所述传感器基板(115)的第二主表面区域，以及

参考底部基板(160、155)，其中所述参考底部基板(160、155)的第一主表面区域接合到所述参考传感器基板(135)的第二主表面区域。

4.根据前述权利要求中任一项所述的单片式流体传感器系统(100)，其中所述传感器基板(115)和所述参考传感器基板(135)被布置为形成公共系统基板(105)，其中所述覆盖基板(120)和所述参考覆盖基板(140)被布置为形成公共覆盖基板(145)，并且其中所述底部基板(150)和所述参考底部基板(160)被布置为形成公共底部基板(155)。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的单片式流体传感器系统(100)，其中所述传感器基板(115)和所述参考传感器基板(135)被布置为形成单独的系统基板，其中所述覆盖基板(120)和所述参考覆盖基板(140)被布置为形成单独的覆盖基板，并且其中所述底部基板(150)和所述参考底部基板(160)被布置为形成单独的底部基板。

6.根据权利要求1或2所述的单片式流体传感器系统(100)，还包括：

底部基板(155)，

其中所述参考覆盖基板(140)的第二主表面区域接合到所述传感器基板(115)的第二主表面区域，并且其中所述底部基板(155)的第一主表面区域接合到所述参考传感器基板(135)的第二主表面区域。

7.根据权利要求1或2所述的单片式流体传感器系统(100)，还包括：

间隔物基板(155)，其中所述间隔物基板(155)的第一主表面区域接合到所述传感器基板(115)的第二主表面区域，并且

其中所述间隔物基板(155)的第二主表面区域接合到所述参考传感器基板(135)的第二主表面区域。