[发明专利]一种4T有源像素结构及其工作方法在审

专利信息
申请号: 202310046392.4 申请日: 2023-01-31
公开(公告)号: CN115799289A 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 高志远 申请(专利权)人: 天津海芯微电子技术有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H04N25/76
代理公司: 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 代理人: 刘影
地址: 300300 天津市滨海新区华苑*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明提供了一种4T有源像素结构及其工作方法,包括P型衬底、SiO2层、钳位光电二极管PPD、传输晶体管栅极TG、浮动扩散电容FD、复位晶体管栅极RG、复位晶体管漏极RD、源极跟随器Msf、选通晶体管Mrs和列总线col_line。本发明有益效果:本发明在传统4T有源像素的基础上,通过增加FD节点与复位栅极(RG)之间间距,消除了FD跟复位栅极(RG)的交叠电容,降低了FD节点总电容,提升了转换增益;FD与RG之间没有交叠,在工艺中FD区域的长度不会受到FD上方接触孔与RG之间距离要求的限制,FD可以实现更小的尺寸,进一步提升了转换增益,最终实现高灵敏度感光。
搜索关键词: 一种 有源 像素 结构 及其 工作 方法
【主权项】:
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