[发明专利]一种4T有源像素结构及其工作方法在审
| 申请号: | 202310046392.4 | 申请日: | 2023-01-31 | 
| 公开(公告)号: | CN115799289A | 公开(公告)日: | 2023-03-14 | 
| 发明(设计)人: | 高志远 | 申请(专利权)人: | 天津海芯微电子技术有限公司 | 
| 主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H04N25/76 | 
| 代理公司: | 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 | 代理人: | 刘影 | 
| 地址: | 300300 天津市滨海新区华苑*** | 国省代码: | 天津;12 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 有源 像素 结构 及其 工作 方法 | ||
1.一种4T有源像素结构,其特征在于:包括P型衬底、SiO2层、钳位光电二极管PPD、传输晶体管栅极TG、浮动扩散电容FD、复位晶体管栅极RG、复位晶体管漏极RD、源极跟随器Msf、选通晶体管Mrs和列总线col_line;
所述钳位光电二极管PPD、浮动扩散电容FD、复位晶体管漏极RD均设置于P型衬底上的扩散区域,所述P型衬底上层覆盖有SiO2层,所述传输晶体管栅极TG、复位晶体管栅极RG设置于SiO2层的多晶硅栅极区域;所述钳位光电二极管PPD为传输晶体管的源极,所述浮动扩散电容FD为传输晶体管的漏极,所述浮动扩散电容FD为复位晶体管的源极;所述浮动扩散电容FD节点通过金属导线连接到源极跟随器Msf的栅极,所述源极跟随器Msf的源极与选通晶体管Mrs的漏极相连,所述源极跟随器Msf的漏极接电源VDD,所述选通晶体管Mrs的源极与列总线col_line相连;
所述浮动扩散电容FD区域靠近复位晶体管栅极RG一侧的边界与复位晶体管栅极RG靠近浮动扩散电容FD一侧的边界距离为L,所述L>0,将两者边界之间的区域记为R。
2.根据权利要求1所述的一种4T有源像素结构,其特征在于:所述传输晶体管、复位晶体管、源极跟随器Msf、选通晶体管Mrs均采用NMOS晶体管。
3.根据权利要求1所述的一种4T有源像素结构,其特征在于:所述传输晶体管栅极TG连接到电压信号TX。
4.根据权利要求1所述的一种4T有源像素结构,其特征在于:所述复位晶体管栅极RG连接到电压信号RST。
5.根据权利要求1所述的一种4T有源像素结构,其特征在于:所述复位晶体管漏极RD接电源VDD。
6.根据权利要求1所述的一种4T有源像素结构,其特征在于:所述源极跟随器Msf的栅极连接到输入信号RS。
7.应用于权利要求1-6任一所述的一种4T有源像素结构的工作方法,包括以下步骤:
S1、将像素结构工作的一帧周期分为三个阶段,分别为复位阶段、曝光阶段、读出阶段;
S2、执行复位阶段;
S3、执行曝光阶段;
S4、执行读出阶段。
8.根据权利要求7所述的一种4T有源像素结构的工作方法,其特征在于:在步骤S2中的执行复位阶段包括以下步骤:
S21、复位晶体管栅极RG的电压信号RST和传输晶体管栅极TG的电压信号TX置为高电平;
S22、钳位光电二极管PPD和浮动扩散电容FD复位,曝光开始。
9.根据权利要求8所述的一种4T有源像素结构的工作方法,其特征在于:在步骤S3中的执行曝光阶段包括以下步骤:
S31、像素结构进行曝光;
S32、钳位光电二极管PPD中产生光生电荷;
S33、曝光阶段结束,曝光完成。
10.根据权利要求9所述的一种4T有源像素结构的工作方法,其特征在于:在步骤S4中的执行读出阶段包括以下步骤:
S41、输入信号RS的电压信号SEL置为高电平,选通晶体管Mrs导通;
S42、浮动扩散电容FD节点的电压通过源极跟随器Msf传输到列总线col_line;
S43、电压信号RST置为高电平,复位晶体管开启,拉高复位晶体管栅极RG与浮动扩散电容FD之间区域电势,激活浮动扩散电容FD节点复位操作,浮动扩散电容FD处于复位状态;
S44、电压信号RST置为低电平,复位晶体管关闭,浮动扩散电容FD复位结束;
S45、浮动扩散电容FD节点的复位电压Vrst传输到列总线col_line;
S46、传输晶体管栅极TG的电压信号TX置为高电平,传输晶体管开启,累积在钳位光电二极管PPD中的光生电荷转移到浮动扩散电容FD区域;
S47、浮动扩散电容FD节点的信号电压Vsig传输到列总线col_line。
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