[发明专利]一种改善N型电池正面镀膜效果的镀膜方法

摘要

本发明公开了一种改善N型电池正面镀膜效果的镀膜方法，包括以下步骤：S1.将N型电池硅片放置于石墨舟载具上并进舟等待处理；S2.通过第一工艺管在N型电池硅片的正面制备氧化铝层；S3.利用机械抓手将石墨舟抓取出管并放置于第二工艺管的浆料上，直接进舟等待处理；S4.通过第二工艺管在N型电池硅片的正面制备氮化硅层和氧化硅层。本发明优化了工序，采用分管法——先后使用第一工艺管和第二工艺管，其间直接使用机械抓手转移石墨舟，避免了装载片操作，有效避免损伤中间步骤制备的氧化铝薄膜，减少了损耗，提高了产品良率和生产效率。