[发明专利]一种用于晶圆加工的药液存储装置及晶圆加工设备在审
| 申请号： | 202310015457.9 | 申请日： | 2023-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN116040137A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 洪成都;曾麒文 | 申请（专利权）人： | 苏州桔云科技有限公司 |
| 主分类号： | B65D88/74 | 分类号： | B65D88/74;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州锦尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32502 | 代理人： | 韩玲;刘通 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于晶圆加工的药液存储装置及晶圆加工设备，药液存储装置包括：槽体，其设有容腔、进液口和出液口，所述进液口和所述出液口分别与所述容腔连通，所述容腔用以容纳药液；冷却管组件，其包括若干冷却管且设置于所述容腔内，用以流通冷却液；其中，所述进液口处的所述冷却管组件与药液的接触面积大于所述出液口处的所述冷却管组件与药液的接触面积。通过限定进液口处的冷却管组件与药液的接触面积大于出液口处的冷却管组件与药液的接触面积，以使得进液口处的冷却速度大于出液口处的冷却速度，使得容腔内的药液冷却后的温度更加均匀，进而能够将出液口输出到后续的加工腔的药液的温度与期望的温度之间的温度差控制在可接受范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 加工 药液 存储 装置 设备 | ||
【主权项】：
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