[发明专利]一种用于晶圆加工的药液存储装置及晶圆加工设备

说明书

本发明涉及一种用于晶圆加工的药液存储装置及晶圆加工设备，药液存储装置包括：槽体，其设有容腔、进液口和出液口，所述进液口和所述出液口分别与所述容腔连通，所述容腔用以容纳药液；冷却管组件，其包括若干冷却管且设置于所述容腔内，用以流通冷却液；其中，所述进液口处的所述冷却管组件与药液的接触面积大于所述出液口处的所述冷却管组件与药液的接触面积。通过限定进液口处的冷却管组件与药液的接触面积大于出液口处的冷却管组件与药液的接触面积，以使得进液口处的冷却速度大于出液口处的冷却速度，使得容腔内的药液冷却后的温度更加均匀，进而能够将出液口输出到后续的加工腔的药液的温度与期望的温度之间的温度差控制在可接受范围内。

技术领域

本发明涉及晶圆加工设备技术领域，特别是涉及一种用于晶圆加工的药液存储装置及晶圆加工设备。

背景技术

晶圆在加工过程中会用到多种化学药液，在晶圆加工设备中，通常设置药液槽以存储相应的药液，在实际加工过程中，对药液的温度有着严格的要求，因此，通常在药液槽外设置加热装置加热药液循环管路，同时在药液槽中设置冷却管来冷却药液，以使得药液能够始终保持在一个较为恒定的温度。

但是，由于药液槽本身较大，且为了稳定地输出药液，药液槽的进液口和出液口有一定间距，药液槽中的药液的温度通常会存在一定差异，这就使得从出液口输出到加工腔的药液的温度与期望的温度有一定误差，该误差对晶圆的加工会造成不良影响。

发明内容

基于现有技术中的上述缺陷，本发明的目的在于提供一种用于晶圆加工的药液存储装置，能够使槽体内的药液的温度更加均匀、准确。

为此，本发明提供如下技术方案。

本发明第一个目的是提供一种用于晶圆加工的药液存储装置，所述药液存储装置包括：

槽体，其设有容腔、进液口和出液口，所述进液口和所述出液口分别与所述容腔连通，所述容腔用以容纳药液；

冷却管组件，其包括若干冷却管且设置于所述容腔内，用以流通冷却液；

其中，所述进液口处的所述冷却管组件与药液的接触面积大于所述出液口处的所述冷却管组件与药液的接触面积。

优选地，所述进液口和所述出液口分别靠近所述槽体的顶壁的长度方向上的两端。

优选地，所述若干冷却管在所述进液口处排布的密集度大于在所述出液口处排布的密集度。

优选地，在所述进液口朝向所述出液口的方向上，所述若干冷却管的排布密集度逐渐减小。

优选地，所述冷却管靠近所述进液口的第一管道段的直径大于其靠近所述出液口的第二管道段的直径。

优选地，所述第一管道段的长度与所述第二管道段的长度相等，且所述长度大于等于所述进液口和所述出液口之间的水平距离的五分之一。

优选地，所述第一管道段的直径与所述第二管道段的直径比为1：（0.7-0.8）。

优选地，所述药液存储装置包括第一温度传感器，用以获取所述出液口处的药液的温度信息。

优选地，所述药液存储装置包括第二温度传感器，用以获取所述进液口处的药液的温度信息；当所述出液口与所述进液口两处的药液温度差小于预设温度差时，触发出液指令。

本发明第二个目的是提供一种晶圆加工设备，包括如上所述的用于晶圆加工的药液存储装置。

本发明具有以下技术效果：

由于进液口处的药液温度通常比出液口处的药液温度高，本发明提供一种用于晶圆加工的药液存储装置，通过限定进液口处的冷却管组件与药液的接触面积大于出液口处的冷却管组件与药液的接触面积，可以使得进液口处的冷却速度大于出液口处的冷却速度，使得容腔内的药液冷却后的温度更加均匀，进而能够将出液口输出到后续的加工腔的药液的温度与期望的温度之间的温度差控制在可接受范围内。