[发明专利]一种光刻胶成膜单体及其制备方法和用途在审
| 申请号： | 202310012236.6 | 申请日： | 2023-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN116410089A | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 王涛;战海涛 | 申请（专利权）人： | 安庆北化大科技园有限公司;北京化工大学 |
| 主分类号： | C07C69/533 | 分类号： | C07C69/533;C07C69/54;C07C67/14;C07C67/48;C07C67/52;C07C67/56;C07C67/58;G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 汪贵艳 |
| 地址： | 246001 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种光刻胶成膜单体及其制备方法和用途，其中光刻胶成膜单体为如下述通式的化合物： |
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| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶成膜 单体 及其 制备 方法 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
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