[发明专利]一种光刻胶成膜单体及其制备方法和用途

权利要求书

1.一种光刻胶成膜单体，其特征在于：所述单体为如下述通式的化合物：

式中，R为C₁～C₆或氢原子。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶成膜单体，其特征在于：所述单体选自以下化合物：

3.如权利要求1或2所述的一种光刻胶成膜单体的制备方法，其特征在于：制备步骤如下：

将式Ⅲ化合物、缚酸剂溶于有机溶剂中，滴加式Ⅱ化合物，经酯化反应、纯化，得到式Ⅰ单体；

式中，X为卤素原子，R为C₁～C₆或氢原子。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：：所述式Ⅲ化合物、式Ⅱ化合物和缚酸剂的摩尔比为1：(1.2～2)：(1.2～2)。

5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述缚酸剂选自三乙胺、2，6-二甲基哌啶、吡啶中的一种。

6.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述溶剂选自二氯甲烷、氯仿、乙酸乙酯或者二氯乙烷。

7.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：滴加式Ⅱ化合物时的温度为0～35℃；酯化反应的温度为0～35℃、时间为6～24h。

8.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述纯化包括如下步骤：

1)将反应后的反应液加水淬灭，待混合溶液分层为第一水相和第一有机相；

2)将第一有机相使用饱和碳酸氢钠水溶液水洗，待混合溶液分层为第二水相和第二有机相；

3)将第二有机相水洗、干燥、旋蒸后，得到粗品；

4)粗品经过柱层色谱法，加入阻聚剂后旋蒸浓缩得到式Ⅰ单体。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于：所述阻聚剂选自对苯二酚、对羟基苯甲醚和2-叔丁基对苯二酚；所述式Ⅲ化合物、式Ⅱ化合物、缚酸剂和阻聚剂的摩尔比为1：(1.2～2)：(1.2～2)：(0.01～2)。

10.如权利要求1或2所述的光刻胶成膜单体的用途，其特征在于：用作光刻胶，所述光刻胶包含光刻胶成膜单体和至少一种引发剂。