[发明专利]基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质在审
| 申请号： | 202310002690.3 | 申请日： | 2023-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN116429792A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 梶原大介;西山直;富田浩 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李靖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质。基板检查装置使用拍摄基板的表面而得到的图像来检查基板，所述基板检查装置具有：保持部(31)，其用于保持基板；第一光源部(51)，其用于对保持于保持部(31)的基板射出可见光；第二光源部(52)，其用于对保持于保持部(31)的基板射出红外光；第一摄像传感器，其接受通过照射可见光而从基板射出的第一反射光，来拍摄关于基板的表面的可见光图像；以及第二摄像传感器，其接受通过照射红外光而从基板射出的第二反射光，来拍摄关于基板的表面的红外光图像。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 以及 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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