[发明专利]基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质

说明书

本公开涉及一种基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质。基板检查装置使用拍摄基板的表面而得到的图像来检查基板，所述基板检查装置具有：保持部(31)，其用于保持基板；第一光源部(51)，其用于对保持于保持部(31)的基板射出可见光；第二光源部(52)，其用于对保持于保持部(31)的基板射出红外光；第一摄像传感器，其接受通过照射可见光而从基板射出的第一反射光，来拍摄关于基板的表面的可见光图像；以及第二摄像传感器，其接受通过照射红外光而从基板射出的第二反射光，来拍摄关于基板的表面的红外光图像。

技术领域

本公开涉及一种基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质。

背景技术

在专利文献1中记载有如下内容：通过向基板照射近红外线进行拍摄，来去除基板的表面的粗糙度成分，得到缺陷部分的图像。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-002648号公报

发明内容

发明要解决的问题

本公开提供一种获取能够更高精度地检测基板的缺陷的图像的技术。

用于解决问题的方案

基于本公开的一个方式的基板检查装置使用拍摄基板的表面而得到的图像来检查所述基板，所述基板检查装置具有：保持部，其用于保持所述基板；第一光源部，其用于对保持于所述保持部的所述基板射出可见光；第二光源部，其用于对保持于所述保持部的所述基板射出红外光；第一摄像传感器，其接受通过照射所述可见光而从所述基板射出的第一反射光，来拍摄关于所述基板的表面的可见光图像；以及第二摄像传感器，其接受通过照射所述红外光而从所述基板射出的第二反射光，来拍摄关于所述基板的表面的红外光图像。

发明的效果

根据本公开，提供一种获取能够更高精度地检测基板的缺陷的图像的技术。

附图说明

图1是示出基板处理系统的概要结构的一例的示意图。

图2是示出涂布显影装置的一例的示意图。

图3是示出摄像单元的一例的示意图。

图4是说明摄像单元中的摄像部与投射反射部之间的配置的一例的示意图。

图5是示出光学滤波器的光学特性的一例的图。

图6是示出控制装置的功能性的结构的一例的框图。

图7的(a)是说明在控制装置中获取的图像的例子的图，图7的(b)是说明制作伪RGB图像的方法的一例的图。

图8是示出控制装置的硬件结构的一例的框图。

图9是说明基板检查方法的一例的流程图。

具体实施方式

下面，对各种例示性的实施方式进行说明。

在一个例示性的实施方式中，提供一种基板检查装置。基板检查装置使用拍摄基板的表面而得到的图像来检查所述基板，所述基板检查装置具有：保持部，其用于保持所述基板；第一光源部，其用于对保持于所述保持部的所述基板射出可见光；第二光源部，其用于对保持于所述保持部的所述基板射出红外光；第一摄像传感器，其接受通过照射所述可见光而从所述基板射出的第一反射光，来拍摄关于所述基板的表面的可见光图像；以及第二摄像传感器，其接受通过照射所述红外光而从所述基板射出的第二反射光，来拍摄关于所述基板的表面的红外光图像。