[实用新型]一种双层引流板

摘要

本实用新型涉及一种双层引流板，属于化学气相沉积技术领域。该双层引流板的引流板和上引流板之间有间距存在，两者之间形成空腔，中间空腔可减少热辐射。当高温气态物质撞击引流板时会使得引流板温度升高，单层引流板长时间温度升高会使得热辐射至与引流板接近的产品上，使得产品温度升高，产品膜层质量及成膜率降低。该双层引流板结构可以在第一层引流板温度升高后进行二次阻隔，中间空腔可减少热辐射，极大程度减少热辐射对产品的影响，使得产品温度低更利于膜层吸附成型，进而提升原材利用率。总之，该双层引流板结构设计合理，完善了引流板的功能，提高了原材料的利用率，适合推广使用。