[实用新型]一种双层引流板

说明书

本实用新型涉及一种双层引流板，属于化学气相沉积技术领域。该双层引流板的引流板和上引流板之间有间距存在，两者之间形成空腔，中间空腔可减少热辐射。当高温气态物质撞击引流板时会使得引流板温度升高，单层引流板长时间温度升高会使得热辐射至与引流板接近的产品上，使得产品温度升高，产品膜层质量及成膜率降低。该双层引流板结构可以在第一层引流板温度升高后进行二次阻隔，中间空腔可减少热辐射，极大程度减少热辐射对产品的影响，使得产品温度低更利于膜层吸附成型，进而提升原材利用率。总之，该双层引流板结构设计合理，完善了引流板的功能，提高了原材料的利用率，适合推广使用。

技术领域

本实用新型涉及一种双层引流板，属于化学气相沉积技术领域。

背景技术

化学气相沉积技术是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，已广泛应用于提纯物质、研制新晶体、沉积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。化学气相沉积是利用气态或蒸气态的物质在气相或气固界面上反应生成固态沉积物的技术。化学气相沉积的英文词原意是化学蒸气。

在化学气相沉积技术中，引流板的应用不可或缺，一种功能完善的引流板可以更大程度的提升沉积质量。目前引流板技术是使用贴合沉积室壁的单层引流板完成气态物质的引流，通常气态沉积会伴随高温气体降温沉积这一转换过程，虽有单层引流板做一定阻隔，然而仍有大量热量辐射至产品表面影响产品质量。

实用新型内容

为了克服背景技术中存在的缺陷，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种双层引流板，包括下引流板和上引流板，所述下引流板和上引流板平行设置，所述下引流板和上引流板的两端和一侧密封固定在一起，所述下引流板和上引流板密封固定在一起的侧面上设有外沿。

优选的所述下引流板和上引流板的横截面呈圆弧形。

优选的所述外沿的高度大于下引流板和上引流板之间的距离。

本实用新型设计了一种双层引流板，该双层引流板的引流板和上引流板之间有间距存在，两者之间形成空腔，中间空腔可减少热辐射。当高温气态物质撞击引流板时会使得引流板温度升高，单层引流板长时间温度升高会使得热辐射至与引流板接近的产品上，使得产品温度升高，产品膜层质量及成膜率降低。该双层引流板结构可以在第一层引流板温度升高后进行二次阻隔，中间空腔可减少热辐射，极大程度减少热辐射对产品的影响，使得产品温度低更利于膜层吸附成型，进而提升原材利用率。总之，该双层引流板结构设计合理，完善了引流板的功能，提高了原材料的利用率，适合推广使用。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型一种双层引流板的结构示意图一；

图2是本实用新型一种双层引流板的结构示意图二；

图3是本实用新型一种双层引流板的剖视图；

其中:1、下引流板；2、上引流板；3、外沿。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。附图为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

具体实施例一，请参阅图1-3，一种双层引流板，包括下引流板1和上引流板2，所述下引流板1和上引流板2平行设置，所述下引流板1和上引流板2的两端和一侧密封固定在一起，所述下引流板1和上引流板2密封固定在一起的侧面上设有外沿3，所述下引流板1和上引流板2的横截面呈圆弧形，所述外沿3的高度大于下引流板1和上引流板2之间的距离。