[实用新型]晶圆载具以及具有其的物料装置

摘要

本实用新型公开一种晶圆载具以及具有其的物料装置，晶圆载具包括座体及载物件，座体设有两个开口及连通两个所述开口的腔道；载物件收容在所述腔道内，且用以承载自一所述开口送入的待测晶圆，所述载物件相对所述座体可活动设置，以具有带动所述待测晶圆自另一所述开口活动移出的移出行程，以供检测机构对所述待测晶圆进行检测。本实用新型使得每一待测晶圆均可沿统一的线性往复移动路径进行移动，有助于提高批量待测晶圆检测的准确性和一致性；使得载物件只接触待测晶圆的边缘，从而有效防止直线往复移动过程中座体等其他构件与待测晶圆过多接触，造成晶圆污染，提高检测可靠性。