[实用新型]石英坩埚、坩埚组件与晶体生长装置有效
| 申请号： | 202223449187.2 | 申请日： | 2022-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN219409984U | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 刘磊;张华利;汪晨;武鹏;楼杭炯;周洁 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 221000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英坩埚、坩埚组件与晶体生长装置，石英坩埚包括：第一坩埚，第一坩埚包括第一底壁和第一周壁，第一周壁环绕第一底壁且与第一底壁连接，第一周壁包括第一壁面和第二壁面，第一壁面的下端与第一底壁连接，第一壁面的上端与第二壁面的下端连接，第二壁面的熔点大于第一壁面的熔点。根据本实用新型的石英坩埚，能够避免硅料与硅液对石英坩埚造成腐蚀、变形等问题，且有利于提高晶体的长晶质量。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 坩埚 组件 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
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