[实用新型]石英坩埚、坩埚组件与晶体生长装置有效
| 申请号： | 202223449187.2 | 申请日： | 2022-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN219409984U | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 刘磊;张华利;汪晨;武鹏;楼杭炯;周洁 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 221000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英 坩埚 组件 晶体生长 装置 | ||
1.一种石英坩埚，其特征在于，包括：
第一坩埚，所述第一坩埚包括第一底壁和第一周壁，所述第一周壁环绕所述第一底壁且与所述第一底壁连接，所述第一周壁包括第一壁面和第二壁面，所述第一壁面的下端与所述第一底壁连接，所述第一壁面的上端与所述第二壁面的下端连接，所述第二壁面的熔点大于所述第一壁面的熔点。
2.根据权利要求1所述的石英坩埚，其特征在于，所述第二壁面为碳化硅件。
3.根据权利要求1所述的石英坩埚，其特征在于，所述第一壁面和所述第二壁面可拆卸连接。
4.根据权利要求3所述的石英坩埚，其特征在于，所述第一壁面和所述第二壁面卡接连接。
5.根据权利要求1所述的石英坩埚，其特征在于，所述石英坩埚还包括第二坩埚，所述第二坩埚设于所述第一坩埚外侧且间隔设置，所述第一坩埚上设有贯穿孔；
或者，所述第二坩埚设于所述第一坩埚的内侧且间隔设置，所述第二坩埚上设有所述贯穿孔。
6.根据权利要求5所述的石英坩埚，其特征在于，所述第二坩埚包括：
第二底壁；
第二周壁，所述第二周壁环绕所述第二底壁且与所述第二底壁连接，所述第二周壁包括第三壁面和第四壁面，所述第三壁面的下端与所述第二底壁连接，所述第三壁面的上端与所述第四壁面的下端连接，所述第四壁面的熔点大于所述第三壁面的熔点。
7.根据权利要求5所述的石英坩埚，其特征在于，所述第一坩埚和所述第二坩埚的中心轴线重合。
8.根据权利要求5所述的石英坩埚，其特征在于，所述第一坩埚和所述第二坩埚的上端水平。
9.一种坩埚组件，其特征在于，包括：
根据权利要求1-8中任一项所述的石英坩埚；
石墨锅邦，所述石墨锅邦设于所述石英坩埚外以支撑所述石英坩埚。
10.一种晶体生长装置，其特征在于，包括根据权利要求9所述的坩埚组件。
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