[实用新型]一种石墨烯生长装置

摘要

一种石墨烯生长装置，包括反应器、检测室、气体混合器、吸附筛体和真空泵，反应器内部设置有多组生长基体用于生长石墨烯，反应器一侧通过管路连接至气体混合器上，气体混合体与气源管路连接，反应器与气体混合器之间的管路上设置有检测室，检测室与反应器的管路上设置有电磁阀，检测室上还设置有伸入内部的氧检测仪，氧检测仪与电磁阀连接，反应器上还管路连接有真空泵，真空泵与反应器的连接管路上设置有吸附筛体；原料气在适宜的氧气浓度下才能注入反应器当中用于生长石墨烯，避免反应器内部氧含量过高导致生长基底出现氧化，真空泵与反应器的连接管路上设置有过滤筛体，可对真空泵中泵油产生的碳氢化合物进行有效地吸附过滤。