[实用新型]一种石墨烯生长装置

权利要求书

1.一种石墨烯生长装置，其特征在于，包括反应器(1)、检测室(4)、气体混合器(7)、吸附筛体(9)和真空泵(10)，其中，

反应器(1)内部设置有多组生长基体(3)用于生长石墨烯，反应器(1)一侧通过管路连接至气体混合器(7)上，气体混合器(7)与气源管路(8)连接，反应器(1)与气体混合器(7)之间的管路上设置有检测室(4)，检测室(4)与反应器(1)的管路上设置有电磁阀(6)，检测室(4)上还设置有伸入内部的氧检测仪(5)，氧检测仪(5)与电磁阀(6)连接；

反应器(1)上还管路连接有真空泵(10)，真空泵(10)与反应器(1)的连接管路上设置有吸附筛体(9)。

2.根据权利要求1所述的一种石墨烯生长装置，其特征在于：所述反应器(1)内部设置有分布筛(2)，分布筛(2)为设置有多组通孔的分隔板体，使得经气体混合器(7)进入反应器(1)的气体通过分布筛(2)的通孔后与生长基体(3)接触。

3.根据权利要求2所述的一种石墨烯生长装置，其特征在于：所述分布筛(2)的通孔以一一对应的形式与生长基体(3)保持水平。

4.根据权利要求1所述的一种石墨烯生长装置，其特征在于：所述吸附筛体(9)为分子筛。

5.根据权利要求1所述的一种石墨烯生长装置，其特征在于：所述吸附筛体(9)经管路连接至检测室(4)上。