[实用新型]集成电路恒温单元以及集成电路工艺系统有效
| 申请号： | 202223366101.X | 申请日： | 2022-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN219085277U | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 薛根进;林志铭 | 申请（专利权）人： | 日月新半导体（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 215341 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提出一种集成电路恒温单元。所述集成电路恒温单元经配置以维持供液管中的液体的温度。本申请还提出一种集成电路工艺系统。所述集成电路工艺系统包括加热单元、控制单元、喷淋单元以及上述的集成电路恒温单元。所述加热单元经配置以加热显影液。所述控制单元通过第一供液管从所述加热单元接收所述显影液。所述控制单元经配置以控制所述显影液的流量。所述喷淋单元通过第二供液管从所述控制单元接收所述显影液。所述喷淋单元经配置以将所述显影液喷淋至晶圆上。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 恒温 单元 以及 工艺 系统 | ||
【主权项】：
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