[实用新型]贴装设备有效
申请号: | 202223170256.6 | 申请日: | 2022-11-28 |
公开(公告)号: | CN218631925U | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 苏华侨 | 申请(专利权)人: | 松下电器机电(中国)有限公司 |
主分类号: | H01L21/607 | 分类号: | H01L21/607;H01L21/683 |
代理公司: | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人: | 刘振绮;毛立群 |
地址: | 200120 上海市浦东新区自*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及芯片贴装技术领域,具体地涉及一种贴装设备以及贴装方法。本发明中提供的贴装设备用于贴装芯片,芯片具有衬底层以及形成于衬底层一侧的电路层,贴装设备包括:载具,用于承载基板,基板表面设置有至少一个焊料区,焊料区内填充有焊料;芯片吸头,与芯片的电路层吸合;超声焊接单元,与芯片吸头连接,驱动芯片吸头进行超声震荡,从而利用焊料,将衬底层的远离电路层的一侧表面焊接于焊料区。本发明中提供的贴装设备通过超声波进行芯片贴装,超声波震动的方式贴装时间短、效率高,并且避免了高温高压环境对芯片或基板造成影响或损坏的情况。 | ||
搜索关键词: | 装设 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造