[实用新型]体声波谐振器及滤波器有效
| 申请号: | 202223101703.2 | 申请日: | 2022-11-22 |
| 公开(公告)号: | CN219041753U | 公开(公告)日: | 2023-05-16 |
| 发明(设计)人: | 张大鹏;林瑞钦;段志 | 申请(专利权)人: | 武汉光钜微电子有限公司 |
| 主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17;H03H9/13 |
| 代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 张竞存;浦彩华 |
| 地址: | 430000 湖北省武汉市武汉东湖高新技术开发区高*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | 本公开实施例提供了一种体声波谐振器及滤波器,所述体声波谐振器包括依次层叠的反射结构、第一电极层、压电层和第二电极层,所述反射结构、所述第一电极层、所述压电层和所述第二电极层的重叠区域为有源区,所述有源区包括沿指定方向交替排布的第一区域和第二区域,所述指定方向平行于所述有源区所在平面;第一调节层,位于所述第一区域;第二调节层,位于所述第二区域,其中,包括所述第一调节层的所述第一区域和包括所述第二调节层的所述第二区域的纵波谐振频率相同,所述第一调节层和所述第二调节层用于增大所述有源区的纵向振幅。 | ||
| 搜索关键词: | 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】:
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