[实用新型]体声波谐振器及滤波器

权利要求书

1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：

依次层叠的反射结构、第一电极层、压电层和第二电极层，所述反射结构、所述第一电极层、所述压电层和所述第二电极层的重叠区域为有源区，所述有源区包括沿指定方向交替排布的第一区域和第二区域，所述指定方向平行于所述有源区所在平面；

第一调节层，位于所述第一区域；

第二调节层，位于所述第二区域，其中，包括所述第一调节层的所述第一区域和包括所述第二调节层的所述第二区域的纵波谐振频率相同，所述第一调节层和所述第二调节层用于增大所述有源区的纵向振幅。

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一区域沿所述指定方向具有第一尺寸，所述第二区域沿所述指定方向具有第二尺寸，所述第一尺寸等于所述第二尺寸。

3.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，未包括所述第一调节层和所述第二调节层且处于振动状态的所述有源区内存在竖直剪切波，所述竖直剪切波包括多个不同波长的正弦波叠加，多个所述正弦波包括第一正弦波和第二正弦波，所述第一正弦波和所述第二正弦波的波长大于其余所述正弦波的波长，且所述第二正弦波的波长小于所述第一正弦波的波长：其中，所述第一尺寸和所述第二尺寸均等于所述第二正弦波的波长的一半。

4.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一调节层和所述第二调节层在所述有源区表面的正投影覆盖所述有源区。

5.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一调节层和所述第二调节层的材质不同且厚度不同。

6.根据权利要求5所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一调节层和所述第二调节层分别设置在所述第一电极层相对远离所述压电层的一侧和所述第二电极层相对远离所述压电层的一侧。

7.根据权利要求5所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一调节层和所述第二调节层均设置在所述第一电极层相对远离所述压电层的一侧；或者，

所述第一调节层和所述第二调节层均设置在所述第二电极层相对远离所述压电层的一侧。

8.根据权利要求5所述的体声波谐振器，其特征在于，与所述第一电极层接触的所述第一调节层或所述第二调节层的材质，与所述第一电极层的材质相同；或者，

与所述第二电极层接触的所述第一调节层或所述第二调节层材质，与所述第二电极层的材质相同。

9.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一调节层包括沿所述有源区的厚度方向层叠的第一子调节层和第二子调节层，所述第二子调节层位于所述第一子调节层和所述第一电极层或所述第二电极层之间；

其中，所述第二子调节层和与其接触的所述第一电极层或所述第二电极层的材质相同，所述第一子调节层的材质和所述第二子调节层的材质不同。

10.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第二调节层包括沿所述有源区的厚度方向层叠的第三子调节层和第四子调节层，所述第四子调节层位于所述第三子调节层和所述第一电极层或所述第二电极层之间；

其中，所述第四子调节和与其接触的所述第一电极层或所述第二电极层的材质相同，所述第三子调节层的材质和所述第四子调节层的材质不同。

11.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一调节层包括第一部分和第二部分，所述第一部分设置在所述第一电极层相对远离所述压电层的一侧，所述第二部分设置在所述第二电极层相对远离所述压电层的一侧，所述第一部分和所述第二部分的材质不同；

所述第二调节层包括第三部分和第四部分，所述第三部分设置在所述第一电极层相对远离所述压电层的一侧，所述第四部分设置在所述第二电极层相对远离所述压电层的一侧，其中，所述第三部分和所述第二部分的材质相同且厚度相同，所述第四部分和所述第一部分的材质相同且厚度相同。