[实用新型]一种液氮温度下的半导体电阻率测量装置有效
| 申请号： | 202222925515.5 | 申请日： | 2022-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN218824438U | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 王昕;叶灿明;李俊生;王世进 | 申请（专利权）人： | 广州昆德半导体测试技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R27/02 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 郑秋松 |
| 地址： | 511330 广东省广州市增城区新城*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种液氮温度下的半导体电阻率测量装置，该装置包括：安装底板、样品托架、探针模块、滑台模组、固定竖板、第一铟片、第二铟片、第一铜电极、第二铜电极、第一绝缘衬板、第二绝缘衬板和样品加压活动模组；滑台模组与探针模块连接，探针模块设有多个楔形探针，固定竖板依次与第一绝缘衬板、第一铜电极和第一铟片连接，样品加压活动模组与电极固定板连接，电极固定板依次与第二绝缘衬板、第二铜电极和第二铟片连接，第一铟片、第二铟片设于待测样品的端面位置，样品托架和探针模块设于待测样品的晶面位置；本实用新型通过弹簧片给楔形探针加压，在低温下楔形探针与样品良好接触，无需切片制样，快速得到整根单晶的电阻率分布结果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液氮 温度 半导体 电阻率 测量 装置 | ||
【主权项】：
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