[实用新型]一种液氮温度下的半导体电阻率测量装置

权利要求书

1.一种液氮温度下的半导体电阻率测量装置，其特征在于，包括：安装底板、样品托架、探针模块、滑台模组、固定竖板、第一铟片、第二铟片、第一铜电极、第二铜电极、第一绝缘衬板、第二绝缘衬板和样品加压活动模组；

所述探针模块设有多个楔形探针，所述楔形探针用于与待测样品的晶面接触；

所述样品托架、固定竖板和样品加压活动模组分别与安装底板连接，所述滑台模组与探针模块连接；

所述固定竖板的一侧与第一绝缘衬板的一侧连接，第一绝缘衬板的另一侧与第一铜电极的一侧连接，第一铜电极的另一侧与第一铟片连接；

所述样品加压活动模组与电极固定板的一侧连接，电极固定板的另一侧与第二绝缘衬板的一侧连接，第二绝缘衬板的另一侧与第二铜电极的一侧连接，第二铜电极的另一侧与第二铟片连接，

所述第一铟片、第二铟片、样品托架和探针模块之间形成待测样品的容纳空间，所述第一铟片、第二铟片分别设于待测样品的端面位置，所述样品托架和探针模块分别设于待测样品的晶面位置；

所述样品加压活动模组用于带动电极固定板在水平方向上移动，调节第二铟片与待测样品端面的位置，所述滑台模组用于带动探针模块在竖直方向上移动，调节楔形探针与待测样品晶面的距离。

2.根据权利要求1所述的液氮温度下的半导体电阻率测量装置，其特征在于，所述滑台模组包括高度调节机构、自锁手轮，所述高度调节机构设有螺杆滑块机构，所述自锁手轮与螺杆滑块机构连接，所述螺杆滑块机构与探针模块固定连接，所述自锁手轮用于带动螺杆滑块机构在竖直方向上滑动。

3.根据权利要求1所述的液氮温度下的半导体电阻率测量装置，其特征在于，所述探针模块还包括弹簧固定支架、弹簧片、固定支架、第一绝缘垫片、第二绝缘垫片、探针调压螺栓、弹簧片绝缘片和固定垫片；

所述滑台模组与固定支架连接，所述固定支架与弹簧固定支架连接，所述弹簧固定支架与固定垫片之间依次设有第一绝缘垫片、弹簧片、第二绝缘垫片，所述弹簧固定支架、固定垫片与弹簧片一端固定连接，所述弹簧片另一端与楔形探针固定连接，

所述探针调压螺栓贯穿弹簧固定支架，所述探针调压螺栓的末端通过弹簧片绝缘片与弹簧片接触，用于改变弹簧片的形变压力，调节楔形探针与待测样品的接触压力。

4.根据权利要求1所述的液氮温度下的半导体电阻率测量装置，其特征在于，所述楔形探针设有固定座和楔形部，所述固定座和楔形部一体成型，所述固定座与弹簧片连接，所述楔形部沿竖直方向延伸，所述楔形部一端与固定座连接，所述楔形部另一端设有尖端，由两个切面的交线形成尖端，两个切面之间的夹角为锐角。

5.根据权利要求4所述的液氮温度下的半导体电阻率测量装置，其特征在于，所述尖端设有平削部，由两个切面的交线处削平形成平削部。

6.根据权利要求1或5所述的液氮温度下的半导体电阻率测量装置，其特征在于，所述楔形探针的尖端切面交线与待测样品中轴线垂直。

7.根据权利要求1所述的液氮温度下的半导体电阻率测量装置，其特征在于，所述楔形探针沿同一直线等间距排布。

8.根据权利要求1所述的液氮温度下的半导体电阻率测量装置，其特征在于，所述样品加压活动模组包括：调压螺杆、限位板、固定架、轴承、导引柱、固定螺栓和调压手轮；

所述轴承与电极固定板连接，所述调压螺杆的一端与轴承连接，所述调压螺杆的另一端与调压手轮连接；

所述固定架设于安装底板上，所述导引柱的一端与电极固定板固定连接，所述导引柱的另一端贯穿固定架；

所述固定架设有固定架底座，所述安装底板设有通槽，所述固定螺栓贯穿固定架底座，所述固定螺栓穿过通槽与限位板活动连接，所述固定螺栓与通槽之间设有活动间隙。