[实用新型]一种实现氢气循环利用的CVD装置

摘要

本实用新型提供了一种实现氢气循环利用的CVD装置，包括CVD设备，所述CVD设备包括预热模块、沉积模块、工艺气体存储模块、尾气处理模块以及氢气循环模块；所述预热模块与所述沉积模块相连；所述工艺气体存储模块分别与所述预热模块和所述沉积模块相连；所述氢气循环模块与所述预热模块构成循环连接；所述沉积模块与所述尾气处理模块相连；所述CVD装置针对现有采用氢气进行硅片预热时产生的严重浪费的问题，优化了氢气的管路设计，使预热用氢气实现了循环利用，极大地节约了资源，同时提升了预热效率，具有较好的应用前景。