[实用新型]一种实现氢气循环利用的CVD装置有效
| 申请号： | 202222783689.2 | 申请日： | 2022-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN218291111U | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 钟观发;李硕;张红生;吴坚;蒋方丹 | 申请（专利权）人： | 嘉兴阿特斯技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455;C23C16/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 刘二艳 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市秀*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 实现 氢气 循环 利用 cvd 装置 | ||
1.一种实现氢气循环利用的CVD装置，包括CVD设备，所述CVD设备包括预热模块、沉积模块、工艺气体存储模块以及尾气处理模块，其特征在于，所述实现氢气循环利用的CVD装置还包括氢气循环模块；
所述预热模块与所述沉积模块相连；
所述工艺气体存储模块分别与所述预热模块和所述沉积模块相连；
所述氢气循环模块与所述预热模块构成循环连接；
所述沉积模块与所述尾气处理模块相连。
2.根据权利要求1所述的实现氢气循环利用的CVD装置，其特征在于，所述预热模块包括至少2个预热腔室，且串联设置。
3.根据权利要求2所述的实现氢气循环利用的CVD装置，其特征在于，所述沉积模块包括至少2个沉积腔室，且串联设置。
4.根据权利要求3所述的实现氢气循环利用的CVD装置，其特征在于，所述工艺气体存储模块至少包括氢气存储设备。
5.根据权利要求4所述的实现氢气循环利用的CVD装置，其特征在于，所述氢气存储设备分别独立地与每个预热腔室和每个沉积腔室相连。
6.根据权利要求2所述的实现氢气循环利用的CVD装置，其特征在于，所述氢气循环模块包括依次连接的第一真空泵和氢气储罐，且每个预热腔室的出口均与所述第一真空泵相连，所述氢气储罐分别独立地与每个预热腔室的入口相连，从而构成循环连接。
7.根据权利要求6所述的实现氢气循环利用的CVD装置，其特征在于，多所述氢气储罐至少为1个。
8.根据权利要求6所述的实现氢气循环利用的CVD装置，其特征在于，所述第一真空泵与所述氢气储罐之间还设置有氢气钝化器。
9.根据权利要求3所述的实现氢气循环利用的CVD装置，其特征在于，所述尾气处理模块包括依次连接的第二真空泵和尾气处理炉，且每个沉积腔室均与所述第二真空泵相连。
10.根据权利要求1所述的实现氢气循环利用的CVD装置，其特征在于，所述CVD设备包括PECVD设备。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
