[实用新型]一种法兰及半导体设备有效
| 申请号： | 202222711309.4 | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN218842405U | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 肖蕴章;黄帅帅;陈炳安;钟国仿 | 申请（专利权）人： | 深圳市纳设智能装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B25/02 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 王雪桃 |
| 地址： | 518107 广东省深圳市光明*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种法兰及半导体设备；该法兰同轴连接于具有温差的端面上；端面划分为高温区和低温区；法兰包括：主体，形成水冷腔；水冷腔划分为第一区域和第二区域；进水管，连通于第一区域；出水管，连通于第二区域；其中，第一区域位于高温区所在的一侧；第二区域位于低温区所在的一侧。本申请的法兰，实现了冷却水从法兰的高温度的第一区域向低温度的第二区域供应的效果，法兰的第一区域首先接触到冷却水，并得到填充，实现了法兰的温度高的区域快速水冷的效果，避免了法兰的温度高的区域温度升高过快，造成烧蚀的弊端；同时保证了法兰的温度高的区域的散热性，提升了法兰的寿命和可靠性，避免了温度不均匀造成法兰变形量增加的弊端。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 法兰 半导体设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市纳设智能装备有限公司，未经深圳市纳设智能装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222711309.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种单肩包样式的多功能防护携具
- 下一篇：一种离心机自动开关盖保险系统
