[实用新型]一种气相沉积炉的保温筒有效
| 申请号： | 202222689997.9 | 申请日： | 2022-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN218521179U | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 陈新华;路良;胡宏;段兴隆;李宏 | 申请（专利权）人： | 湖南天雅科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/83 | 分类号： | C04B35/83 |
| 代理公司： | 长沙致为远航知识产权代理事务所(普通合伙) 43280 | 代理人： | 肖周强 |
| 地址： | 411199 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本申请提供一种气相沉积炉的保温筒，包括支撑框架、保温板、内筒和外筒；支撑框架为圆筒形框架，支撑框架具有若干个安装口，且安装口沿圆筒形框架的周侧环绕设置；内筒设置在支撑框架的内侧，且内筒贴合支撑框架的内壁，外筒设置在支撑框架的外侧，且外筒贴合支撑框架的外侧，安装口的前后两侧被内筒和外筒封闭；保温板嵌设在安装口内，且保温板夹在内筒与外筒之间。本申请实施例提供的气相沉积炉的保温筒，软质的保温板的外侧被支撑框架、内筒和外筒包裹住，能够防止保温板瘫软，从而能提高保温筒的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 保温 | ||
【主权项】：
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